詳細信息
此款全自動清洗機適用于晶圓、QFN、玻璃和陶瓷切割后的清洗設備，此系列共有高壓水和二流體兩種清洗方案。采用人性化的全彩色觸摸屏作為操作界面，令整機更為易用，無需培訓就可立即上手操作。
主要功能:
■提供高壓水和二流體兩種清洗方案供分開或組合選擇。
■適用于藍膜、UV 膜、PET 襯底膜和雙層膜。
■主軸采用用于航空的磁流體密封技術，性能安全、可靠。
■采用離心式自動抓緊鎖扣或提供不超過兩個需人工干預的重物件夾緊結構。
■配備5.7 英寸全彩色觸摸屏，集成顯示相關信息和功能操作。
■一鍵式全自動執行清洗和吹干動作，整個過程無需人工干預。
◆ 高壓水和二流體兩種清洗方案：
除提供傳統高壓水的清洗方案外，還提供采用二流體的清洗方案，在保證清洗效果的同時也減少
了對芯片的損害。
可獨立選擇機器采用高壓水（A）或二流體（B）的清洗方式，也可以選擇雙擺臂的組合（AB）方式。
◆ 磁流體密封技術的主軸：
采用了應用于航天工程的磁流體密封技術的主軸，保證真空吸附的真空度，保證工作件不會因真空
泄漏而脫離旋轉臺盤，從而損壞工作件。
由于是采用液體密封技術，大大提高了主軸的壽命，令主軸更安全，更可靠。
◆ 配備5.7 英吋全彩色觸摸屏：
人性化的觸摸屏界面，集成了所有的參數設計和功能操作；并提供信息和錯誤顯示，讓所有操作和
信息一目了然。
